클린룸

1 개요
 1) 정의
   - 공기 중 부유미립자가 규정된 청정도 레벨 이하로 관리되고 필요에 따라 온도, 습도, 압력등의 환경조건에 대해서도 관리되는 공간
 2) 특징
   - 1993년 개정된 Fed. Std209E가 최신 기준으로 설정된다.
   - 관련 기준은 209D 기준 1세제곱피트 중(28.8리터) 0.5미크론 이사으이 미립자가 얼마나 있는지 나타냄
    * 209D 클래스 100 : 는 1세제곱미터당 0.5미크론 이상의 미립자가 100개 이하를 의미
   - ISO 규격과 KS I ISO 14644-1 규격으로도 대응가능
     * 1m³ 중 0.1미크론 이상의 미립자기 기준

2 크린룸의 종류
 1) 수직일방향형 클린룸(수직층류형 클린룸)
   - 필터가 천장에 있으며 공기는 상부에서 필터를 거쳐서 아래로 흐름.
   - 넓근공간에 대해 적용
 2) 수평일방향형 클린룸(수평층류형 클린룸)
   - 픽터가 한쪽병면에 설치되어 있으며 측면에서 공기가 유입 상부로 공기가 이동되어 다시 측면의 필터로 이동되어 순환됨.
 3) 비일방향형 클린룸
   - 패턴과 유속이 임의의 조건이며 공기는 필터를 통해 유입되며 외부로 배출되는 것이 일반적임.
   - 클래스 6 이하에 적용
 4) 혼류형 클린룸
   - 일방향형과 비일방향형이 혼재된 클린룸.
   - 고청정상태를 유지하는 조건에 적용된다.

3 필터의 종류
 1) ULPA
  - 0.1미크론 입자에 대해 99.9995% 포집률을 가짐
  - 압력손실 245Pa 이하성능 에어 필터
 2) HEPA
   - 0.3미크론 입자에 대해 99.97 이상의 입자 포집률
   - 압력손시 245Pa 이하성능 에어 필터
 3) Bag
   - 5미크론보다 큰 입자의 제거에 사용되는 에어필터
   - 일반적으로 1차필터, 프리필터로 사용된다.