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1 HEPA 필터
1) 개요
- 계수법에 의한 여과효율이 99.97% 이상인 필터.
- HEPA : High Efficiency Particulate Air filter
2) 특징
- 공기저항/정압손실이 크므로 설계시 고려해야함.
- 클린룸클래스 10~100 정도에 사용.
2 ULPA 필터
1) 개요
- 계수법에 의한 여과효율이 99.9997% 이상인 필터.
- ULPA : Ultra Low Penetration Air filter
2) 특징
- 클린룸클래스 10 이하에 사용
* super clean room 최종 필터로 사용됨
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